氩气回收装置

【产品名称】

  • 发布时间:2021-03-04
  • 发布人员:adminszx
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详情介绍

产品简介:

处理气量:(1-1000)Nm3/h

压力:≤1.0Mpa

氩气纯度:≥99.999%

露点:≤-70℃

纯氩含氧量:≤1.5ppm

广泛应用于:

光纤,单晶硅,多晶硅行业等氩气的回收及纯化。

单晶硅行业氩气回收(氩气回收率≥95%)

根据单晶炉工作运行的工序,真空泵抽出的回收氩气由阀进入到氩气回收设备。回收气首先经过鼓风机进入到进气储罐,然后再进入到预处理设备,除去里面的油份和杂质。然后进入以下氩气纯化设备单元,根据各个工艺将里面的杂质一一去除,然后使得回收气气体纯度达到所需要求,进一步循环利用。

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